Литвиненко, В.М. 2024. ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ОЧИЩЕННЯ КВАРЦОВИХ РЕАКТОРІВ ДЛЯ ДИФУЗІЇ БОРУ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. Таврійський науковий вісник. Серія: Технічні науки. 6 (Бер 2024), 223-229. DOI:https://doi.org/10.32782/tnv-tech.2023.6.25.