Литвиненко, В.М. 2024. РОЗРОБКА ПРОЦЕСУ ДИФУЗІЇ БОРУ В КРЕМНІЙ З ТВЕРДОГО ДЖЕРЕЛА ДОМІШКИ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. Таврійський науковий вісник. Серія: Технічні науки. 1 (Трав 2024), 216-222. DOI:https://doi.org/10.32782/tnv-tech.2024.1.26.