Литвиненко, В. М. (2024). РОЗРОБКА ПРОЦЕСУ ДИФУЗІЇ БОРУ В КРЕМНІЙ З ТВЕРДОГО ДЖЕРЕЛА ДОМІШКИ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. Таврійський науковий вісник. Серія: Технічні науки, (1), 216-222. https://doi.org/10.32782/tnv-tech.2024.1.26