Литвиненко, В. М. (2024). ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ОЧИЩЕННЯ КВАРЦОВИХ РЕАКТОРІВ ДЛЯ ДИФУЗІЇ БОРУ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. Таврійський науковий вісник. Серія: Технічні науки, (6), 223-229. https://doi.org/10.32782/tnv-tech.2023.6.25