ЛИТВИНЕНКО, В. М. ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ОЧИЩЕННЯ КВАРЦОВИХ РЕАКТОРІВ ДЛЯ ДИФУЗІЇ БОРУ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. Таврійський науковий вісник. Серія: Технічні науки, [S. l.], n. 6, p. 223-229, 2024. DOI: 10.32782/tnv-tech.2023.6.25. Disponível em: http://journals.ksauniv.ks.ua/index.php/tech/article/view/516. Acesso em: 9 трав. 2024.