Литвиненко ВМ. ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ОЧИЩЕННЯ КВАРЦОВИХ РЕАКТОРІВ ДЛЯ ДИФУЗІЇ БОРУ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. tech [інтернет]. 13, Березень 2024 [цит. за 09, Травень 2024];(6):223-9. доступний у: http://journals.ksauniv.ks.ua/index.php/tech/article/view/516