Литвиненко ВМ. РОЗРОБКА ПРОЦЕСУ ДИФУЗІЇ БОРУ В КРЕМНІЙ З ТВЕРДОГО ДЖЕРЕЛА ДОМІШКИ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. tech [інтернет]. 29, Травень 2024 [цит. за 03, Липень 2024];(1):216-22. доступний у: https://journals.ksauniv.ks.ua/index.php/tech/article/view/559